日廠研發(fā)大尺寸液晶屏退火工序準分子激光設備
2016年07月06日 10:28 12153次瀏覽 來源： 新材料在線 分類： 有色裝備
在工業(yè)實際生產(chǎn)過程中，大型尺寸面板的制造，特別是50～70英寸TV面板的大尺寸液晶制造設備的制造過程中，液晶屏退火工序往往無法滿足實際生產(chǎn)的要求。近日，日本的一家公司研發(fā)出大尺寸液晶屏退火工序的準分子激光設備，可以解決產(chǎn)業(yè)由來已久的痛點。
據(jù)悉，這家名叫Gigaphoton的日本公司6月24日宣布，開發(fā)出了用于制造平板顯示器（FPD）的極小激光退火工序用準分子激光器“GIGANEX”系列。這是一款應用高可靠性半導體光刻用準分子激光器的退火用準分子激光器，是專供V-Technology制造的裝置使用的專用機。通過導入已有的a-Si（非晶硅）面板制造工序，使a-Si向p-Si（多晶硅）結(jié)晶化，可制造用以往a-Si無法制造的8K等高精細面板。
另外還可實現(xiàn)以往激光退火工藝無法實現(xiàn)的大型面板尺寸的制造，可滿足制造50～70英寸TV面板的大尺寸液晶制造設備工廠的要求。
不久前將該激光器配備在日本V-Technology公司的極小激光退火裝置上，供貨給了大尺寸液晶屏制造設備工廠用于LTPS（低溫多晶硅）TFT液晶面板制造。
責任編輯：趙天寧
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