日本展出直徑460mm的單晶硅錠
2008年06月10日 10:19 7024次瀏覽 來源： 中國有色網(wǎng) 分類： 新技術
日本Covalent Materials公司（原東芝陶瓷）在2007年11月15~16日該公司主辦的技術展會上，展示了直徑460mm的單晶硅錠。除可用于300mm硅片相應裝置的內部零部件外，將來有望用于450mm硅片。
此次展出的硅錠，可用作在300mm硅片刻蝕裝置上部電極使用的噴淋板及設置在硅片放置臺上的環(huán)型聚焦環(huán)等部件。上述產品該公司已投產，部件直徑達400mm。在此基礎上開發(fā)的大直徑硅錠的生長技術是實現(xiàn)450mm硅片的重要基礎技術。
為實現(xiàn)450mm硅片，還必須要進一步降低硅錠內部的雜質和結晶缺陷，該公司利用各種模擬技術，優(yōu)化結晶生長條件、硅片加工及研磨條件。半導體業(yè)計劃2012~2014年在批量生產線上使用450mm硅片，該公司將配合這一計劃做進一步開發(fā)。
責任編輯：CNMN
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